反射鏡金屬鍍膜
和抗反射膜一樣,金屬反射鍍膜在設計之時也需要考慮光譜範圍,Edmund Optics®可提供一系列的金屬保護鍍膜,具有高反射率,用於波長範圍從 250nm 到 10μm 以上的應用。標準反射金屬鍍膜包括保護性鍍鋁膜、增強性鍍鋁膜、紫外線增強性鍍鋁膜、保護性鍍金膜和保護性鍍銀膜。保護性鍍鋁膜和增強性鍍鋁膜通常用於視覺化應用。紫外線增強性鍍鋁膜可用於紫外線和視覺化應用。保護性鍍金膜為紅外線或近紅外線波長提供高反射率。保護性鍍銀膜在 500-800nm 波段具備最高反射率,但由於其對變色敏感,最適用於作為後方表面反射鏡。
第一表面鏡和第二表面鏡簡介
圖 1:First Surface Mirror
圖 2:Second Surface Mirror
Edmund Optics® 提供各種基板材料鍍上標準金屬鍍膜、雷射用鍍膜、以及指定的寬頻、窄頻、單色雷射、雙光雷射以及雷射分光鏡膜。我們所有的反射鏡產品都是屬於在第一個表面鍍上(見圖1)高反射率鍍膜,如金屬或多層介質,沉積在玻璃基板的第一表面上(同時提供金屬基片反射鏡的同類產品)。相比之下,鍍膜在第二層的表面(見圖2)與第一層表面的製造方式雖然相同,但在鍍膜表面有鍍上其他保護層(通常是鍍銀)保護。該保護膜層可避免鍍膜刮傷和氧化。Edmund Optics 建議使用鍍膜在第一層表面的反射鏡,而非在第二層表面的反射鏡的三大原因(圖2)如下:
- 第二層表面反射鏡上的入射光受中間玻璃影響產生反射進而發生散射。玻璃會產生色散,造成不同波長在不同角度折射。
- 由於在玻璃基本身發生菲涅耳反射,反射光呈現鬼影,用紅色虛線表示。
- 由於菲涅耳反射,在每個介面的反射損失約占4%,使用第二表面鏡反射效率減少。
標準公制反射鏡鍍膜規格
保護性鍍鋁膜
保護性鍍鋁膜是最暢銷的反射鏡膜,應用於可見光和近紅外線。一氧化矽(SiO)的一半波長用以保護脆弱的鋁。這種方法提供了耐磨的表面,同時可保持鋁膜的性能。
增強型鍍鋁膜和紫外加硬鍍鋁膜
鋁表面的多層介質膜用於增強可見光或紫外線區域的反射。增強性鍍鋁膜是應用於 400-650nm 增加反射的理想選擇,而紫外線增強性鍍鋁膜適用於 250nm-400nm 增加反射的情況。多層薄膜還提供保護鍍鋁膜的處理特性。
保護性鍍金膜
保護性鍍金膜廣泛應用於需求高反射率的近紅外和紅外波段。由於鍍膜需要有持久耐用的需求,因此在金膜上面加鍍一層一氧化矽鍍膜。鍍金膜的性能沒有改變(在750nm-1500nm之間的反射率為96%),而耐用性能得到了大幅提高。
保護性鍍銀膜
保護性鍍銀膜在可見光和紅外區域擁有出色的反射率,是寬頻光譜應用的最佳選擇。鍍銀膜在500-800nm 反射率>98%,保護鍍膜降低鍍銀後被污染的傾向,非常適合低濕度環境。
圖 3:金屬反射鏡鍍膜反射率曲線,理論上波段超過 10μm 反射率逐漸上升
表1:金屬反射鏡鍍膜資料 | |||
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名稱 | 波長範圍 | 反射規格 | 典型能量密度極限 |
VUV 加硬鍍鋁膜 | 120-125nm | Ravg >78% | |
120-700nm | Ravg >88% | ||
DUV 加硬鍍鋁膜 | 190-195nm | Ravg >88% | |
190-600nm | Ravg >85% | ||
UV 加硬鍍鋁膜 | 250-450nm | Ravg >89% | 0.5 J/cm2 @ 355nm, 10ns |
250-700nm | Ravg >85% | ||
保護性鍍鋁膜 | 400-700nm | Ravg >85% | 0.3 J/cm2 @ 532nm & 1064nm, 10ns |
400-2000nm | Ravg >90% | ||
加硬鍍鋁膜 | 450-650nm | Ravg >95% | 0.2 J/cm2 @ 532nm, 10ns |
保護性鍍銀膜 | 450-2000nm | Ravg >98% | 0.5 J/cm2 @ 532nm & 1064nm, 10ns |
2000-10000nm | Ravg >98% | ||
超快增強型鍍銀膜 | 600-1000nm | Ravg >96% | 0.3 J/cm2 @ 532nm & 1064nm, 10ns |
保護性鍍金膜 | 700-2000nm | Ravg >96% | 0.8 J/cm2 @ 1064nm, 10ns |
2000-10000nm | Ravg >96% | ||
裸金鍍膜 | 700-800nm | Ravg >94% | |
800-20000nm | Ravg >97% | ||
2000-12000nm | Ravg >98% |
圖 4:金屬鍍膜反射鏡的常規反射曲線
可客製反射鏡膜
Edmund Optics® 是為反射鏡、分光鏡、窗鏡及其他光學元件提供雷射鍍膜的領先設計製造商。公司與眾多檢測實驗室合作,獨立認證鍍膜雷射損傷閾值。所有指定的損傷閾值經過多種膜層檢測,以確保檢測結果的精確性。指定值為保守估計,典型資料表明反射鏡能夠承受2-3倍的指定閾值。
公司設計和製造的單個或多個雷射鍍膜,可用於寬頻可調諧雷射源。鍍膜設計也可用於部分反射鏡、輸出耦合器和標準具,以及任何入射角度或偏振態。公司的世界級製造設施能夠在任何玻璃和最晶體的基片中生產表面精度<λ/20,10-5表面質量,<0.5角秒的平行度,表面粗糙度<5埃的基片。也可用客戶提供的基片進行原型製造或產品生產。
對於高功率應用,鍍膜設計師會選擇相關波長的內在低吸收材料。但客戶也需要知道,高功率應用鍍膜材料的選擇是有限的。系統設計者在設計光學時考慮良多,從光學設計過程之初就選擇了適當的損傷閾值。
使用高功率紫外線(UV)雷射的鍍膜是由用於可見光和近紅外(IR)的不同材料製成。高反射膜的核心結構通常是高低折射率的膜層交替,四分之一波長厚。鍍膜設計可以顯著地改變損傷閾值。簡單地增加低折射率材料(一般為二氧化矽)的半波作為最後一層,可大幅提高損傷閾值。二氧化矽(SiO2)是普遍接受和普遍選擇的低折射率層,並且在總體介質金屬氧化物是首選材料,用於紫外線、可見光和近紅外雷射應用。選擇高指標層材料並不常見:鈦、鉭、鋯、鉿、鈧、鈮的氧化物是普遍使用的高折射率材料。
BBHR 和 NBHR(陷波濾光片)
- 可見寬頻:Ravg >98%, 425-675nm, 0-45° AOI
- 陷波濾光片:R >90% @中心波長(CWL), FWHM < 0.12 CWL, Tavg >90%用於帶外波長
- 客製鍍膜可選300-1800nm(BBHR)和350-850nm(陷波)之間的波長
圖 5:Broadband and Narrow Band High Reflectors
單線、雙線雷射反射鏡
- 最大反射率在波段1或波段2,客戶選定波長為 190-3000nm(單線)或 350 -1700nm(雙線)
- 單線:R >99.5%,適用設計波長
- 雙線:R >98.5%,適用兩種波長範圍
圖 6:Dual Laser Line Reflector
雷射光分光器
- 部分反射率從 5%R 至 95%R,按使用者要求客製
- 反射規格:R% = ±2%; 一般:R% = ±1%
- 45°,隨機和非偏振版本
- 設計波長 250-3000nm
圖 7:Laser Line Beamsplitter Coatings
Note: All graphs and values are typical and for reference only.
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反射鏡 |
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