Type of Movement:

Rotary

Guide System:

Ball Bearing

Type of Drive:

Ultrasonic Motor

Type:

Metric

Stage Size (mm):

36.0 x 32.0

Travel (°):

360

Construction:

Aluminum Body, Steel Bearing

Eccentricity (μm):

5

Flatness (μm):

5.0

Load Capacity (kg):

1 (Horizontal)

Note:

Use with Piezo Positioning Stage Controller #88-552

Repeatability (°):

Bi-directional: 0.0044
Uni-directional: 0.013

Resolution (°):

0.0022 Typ. (Open Loop)

Speed (°/s):

6 Max with #88-552

Weight (g):

50

Wobble (mrad):

±100

Wobble (µrad):

100

Regulatory Compliance

RoHS:

Compliant

Certificate of Conformance:

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Product Description

Controller (#88-552) required for operation.

產品系列說明

高精密度壓電載片台
採用黏著滑動設計
具有超精細的控制能力

壓電定位載片台採用壓電驅動電機，可在需要精細定位的應用中取得分辨率低於一微米的行程。壓電定位載片台採用黏著滑動設計，這些設計能充分擴充壓電元素，以便沿行程軸驅動載片台，同時不會導致精密度或整體行程範圍受損，此外該載片台還具備內嵌編碼器以保持可重複性。線性定位載片台每秒能移動最多2mm，整體行程超過51mm。旋轉載片台(採用預先裝載的兩個鋼製滾珠軸承)每秒能旋轉超過6° ，具有無限制的行程範圍與很大的阻滯力。

注意:需要使用控制器(#88-552)才能執行作業。

Rotary Piezo Positioning Stage

Regulatory Compliance

Product Description

產品系列說明