Infinite Conjugate, DUV Coated, 10X/0.22NA ReflX Objective

產品系列說明

• 領先業界的 19 至 31mm 工作距離
• 由愛特蒙特光學設計及製造，適用於聚焦或成像應用
• 主動對準以實現最佳效能
• 190nm 至 11μm 的超寬光譜帶，無色像差
• 亦提供 高效能reflx™物鏡

反射式物鏡普遍適用於，要求超高圖像品質或在廣波段光譜帶範圍內達到高聚焦效能的應用。Schwarzschild式物鏡，在設計規範鍍膜條件下整個反射範圍可呈現近繞射極限效能。這些元件可消除與標準顯微鏡物鏡有關的色像差及材料吸收等問題，適合紫外線或紅外線需要高光通量及優異分辨率的應用，包括FTIR光譜儀、橢偏儀、光微影技術和半導體檢查。

提供有限共軛及無限共軛兩種款式的物鏡。有限共軛選項適合標準及小型設計使用，不需要額外的聚焦成像鏡筒。無限共軛設計需要 200mm 的第二成像鏡筒。無限共軛設計可加入中間濾光片及分光鏡，讓這類物鏡也適合用於生物科技及螢光應用。對聚焦應用而言，光束應充滿指定的物鏡入瞳直徑。在任何情況下，都應注意光線變暗所產生的輻射曲線，以及光束中央部位的能量減弱。

ReflX™物鏡的設計擁有優於一般Schwarzschild物鏡的許多優點。藉由堅固的設計，可將這些物鏡整合至熱量與振動適中的設備中，而不會損及效能。內部所有表面均經過特殊處理，可消除雜散光。每面物鏡均在美國製造，並使用我們的Zygo GPI-XP干涉儀進行組裝、測試及檢驗。每面物鏡均隨附合格認證書。TECHSPEC® 高效能 ReflX™ 物鏡提供 λ/4 穿透波前 (P-V)。如需客製版本 (包括雷射鍍膜及其他背管長度)，請聯絡本公司應用工程部門。