Period (nm):

139 ±6.95

Groove Depth (nm):

50 ±7.5

Line Width (nm):

70 ±7

Dimensions (mm):

12.50 x 12.50

Clear Aperture CA (mm):

11.50 x 11.50

Coating:

Uncoated

Construction:

RIE Grating

Length (mm):

12.50

Model Number:

1304117

Single Crystal Silicon

Surface Quality:

60-40 (within CA)

Thickness (mm):

0.68 ±0.05

Type:

Nanopatterned Silicon Stamp

Width (mm):

12.50

Regulatory Compliance

RoHS:

Compliant

Certificate of Conformance:

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產品系列說明

奈米級質地的溝槽表面
各種不同溝槽週期和溝槽深度
適用於奈米光子研究應用

Coherent^® LightSmyth™ 奈米圖案矽印模，是由在單晶矽基材製作圖案的奈米級質地表面所組成。透過反應式離子蝕刻技術，在基材表面蝕刻具有梯形截面的線性溝槽，類似於傳統光柵。蝕刻製程可讓溝槽具有不同的週期和深度規格，並可製作晶格等更複雜的圖形。Coherent^® LightSmyth™ 奈米圖案矽印模是奈米光子研究應用的理想選擇，適用領域涵蓋光學及光子、生物、化學、奈米壓印及微流控。

注意：II-VI Incorporated 已變更為 Coherent Corp.