6 Degrees of Freedom Fine Positioning Stage with Z-Axis

產品系列說明

• 測量凹面和凸面柱面透鏡的面形誤差
• 可提供多種圓柱形 f/#s
• 易於安裝和對齊

Arizona Optical Metrology （AOM）公司的柱面電腦全像圖（CGH）擴展了干涉儀的功能，可檢測圓柱形光學元件，實現快速、全孔徑和高解析度的面形誤差計量。提供完整系列的圓柱形 CGH f/#，可測試一系列凸面和凹面圓柱形光學表面，減少計量實驗室所需的測試板或干涉測量基準面的數量。AOM 2 英吋柱面 CGH 安裝在機械框架中，可靈活安裝到所需的六自由度運動平臺，以便將 CGH 與干涉儀精確對準。Arizona Optical Metrology (AOM) 公司的柱面電腦生成全像圖（CGH）經過優化，可與業界標準的 4 英吋孔徑、632.8nm HeNe 雷射波長干涉儀和參考穿透平面配合使用。每個柱面空心 CGH 都附有合格證，上面標明了測試的性能指標。

請注意：這些計算全像圖（CGH）需要使用 6 自由度精細定位平臺 (#25-684或帶 Z 軸的 6 自由度精細定位平臺）#25-685)。CGH 單元透過磁力與平臺運動連接，實現快速、可重複的定位。

AOM 的電腦全像圖（CGH）可對柱面光學元件進行干涉測量。使用 CGH 可以測量凸面和凹面圓柱形光學元件在全孔徑範圍內的面形誤差。圓柱曲率半徑也可以用半徑干涉儀進行測量。/p>

AOM 標準柱面 CGH 包括柱面空心圖案、逆向對準圖案、後表面鍍有抗反射鍍膜的熔融石英基片以及帶有 1/4”不銹鋼安裝球的機械單元，用於連接 AOM FP3 對準平臺。

柱面 CGH 是一種繞射光學元件，可將準直干涉儀波前轉換成會聚圓柱波前。凹面和凸面柱面光學元件可在共焦無效測試中使用相同的 CGH 進行測量。凸柱面光學元件應置於會聚波前，凹柱面光學鏡組應置於發散波前。