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以顯微鏡進展成果克服未來挑戰

以微型化提升行動能力

紫外線波長可提升分辨率及強化對比

以自動化系統提升產量

液態鏡頭整合實現快速焦距調整

光學顯微鏡自 17 世紀以來，在科學、醫療及工業應用實現各種進展成果，並持續演進發展，克服未來挑戰。體積精巧的微型化物鏡，可讓顯微鏡系統便於攜帶，在現場迅速做出回應。電控液態鏡頭整合及系統自動化，有助於大幅提升工業應用產量，此外還有許多顯微鏡應用採用紫外線 (UV) 波長，以加強分辨率及對比。以上各種發展成果，讓顯微鏡系統能夠符合新興應用的各種嚴苛要求。

微型化
自動化系統
紫外線顯微鏡
液態鏡頭整合

微型化 - 親愛的，我把顯微鏡縮小了！

微型化顯微鏡物鏡適合注重重量及尺寸的應用，例如快速反應檢測疾病、水質監控，以及顯微鏡檢驗工廠地面。標準顯微鏡系統體積大、重量重且相當複雜，無法用於快速回應的現場工作。簡化機械結構及精巧的光學設計，讓現代顯微鏡物鏡能像一疊硬幣一樣小。超小型物鏡通常具有固定焦距、小遮光板及固定孔徑。

Size Comparison of an Ultra-Compact Microscope Objective with a Standard Microscope Objective

圖1: 超小型顯微鏡物鏡與標準顯微鏡物鏡的尺寸比較

自動化系統 - 讓顯微鏡執行作業

現代顯微鏡系統的各種元件可自動化，其中包括焦距及載片台控制、電機快門、照明來源切換乃至於影像擷取。以上功能自動化之後可大幅提升產量，並讓程序達到驚人的重複及控制效果。自動化顯微鏡系統在需要許多重複觀察時非常重要。

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圖2: 愛特蒙特光學於 2018 年 Photonics West 展示自動化顯微鏡的影片

紫外線顯微鏡 - 短波長提供高分辨率

許多顯微鏡應用利用紫外線波長達到更高的分辨率，以及更出色的對比。光源波長決定光學顯微鏡的分辨率，而紫外線輻射的短波長，可實現超越可見光繞射極限的影像分辨率。紫外線顯微鏡也能強化對比，因為紫外線輻射與樣本分子之間的互動，可在檢驗時易於識別樣本特徵。紫外線顯微鏡適用於檢測具有微小特徵的裝置，例如現代半導體。紫外線物鏡也可搭配使用紫外線雷射，產生小型的精確特徵，成為雷射對焦及加工應用的理想選擇，其中包括半導體製程、材料蝕刻，以及用於除紋、刺青及除毛的醫美雷射。

UV Microscopy is Ideal for Semiconductor Inspection

圖3: 紫外線顯微鏡適合半導體檢測

液態鏡頭整合 - 快速焦距調整

液態鏡頭為電控液體元件，可在應用電流或電壓時迅速改變形狀，以調整焦距定位不同工作距離的物體。整合液態鏡頭至顯微成像應用中的顯微鏡系統時，可簡化焦距堆疊 (或稱 z 堆疊) 程序。使用高放大倍率物鏡時，由於景深受限，通常需要使用焦距堆疊。整合液態鏡頭可讓物鏡快速精準地對焦不同物體平面，有助於處理焦距堆疊，並能快速成像具厚度的樣本，盡可能減少擷取影像間浪費的時間。

Electrically-Focused Liquid Lens Technology

圖4: 電動對焦液態鏡頭技術

愛特蒙特光學未來的顯微鏡物鏡

TECHSPEC Ultra Compact Objective Assemblies

超小型物鏡組件

TECHSPEC^® 超小型物鏡組件是愛特蒙特光學最小的物鏡，就其工作距離、分辨率及放大倍率而言，幾乎是市面上同類產品最精巧的款式。TECHSPEC^® 超小型物鏡組件是以 2X 放大倍率設計，只要增添延伸鏡筒，就能輕鬆配置為 4X、5X、10X、15X 及 20X 放大倍率。

進一步瞭解

Mitutoyo NUV and UV Infinity Corrected Objectives

Mitutoyo NUV 及 UV 無限補正物鏡

Mitutoyo 的 NUV 及 UV 無限補正長工作距離物鏡，除了使用紫外線波長提升分辨率，也具備標準 M Plan Apo 與 M Plan Apo SL 系列物鏡的各種優點，在兩階、三階與四階 Nd:YAG 諧波範圍內具有出眾效能。這類物鏡適合用於顯微檢測小型特徵、雷射材料加工及醫療雷射應用。

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