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極紫外(EUV)二向色濾光片也被稱為分束鏡,是透過在極紫外(EUV)與近紅外波長之間提供高分離效率,用於高次諧波產生的應用。這些濾光片採用熔融石英基材,相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外(EUV)濾光片,適用於更高的雷射功率。極紫外(EUV)二向色濾光片的頻寬範圍為10nm~40nm。這些濾光片除產生高次諧波,還可用於極紫外(EUV)應用的系統,如EUV微影製程、EUVnm加工、相干衍射成像以及產生超快阿秒脈衝。
Dia. (mm) | Thickness (mm) | Wavelength Range (nm) | 比較 | 庫存號碼 | 價格 | Buy | |
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50.80 | 5.08 | 10 - 25 | #18-279 | NT$173,250 Request Quote |
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