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CaliBall™ – 干涉儀校正裝置

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  • 校正穿透球面
  • 1.3nm RMS 表面面型精度
  • 包括動態調整座及合格認證書

CaliBall™ 使用隨機球測試 (RBT) 校正干涉儀穿透球面。隨機球測試曾有不錯的效果,但製造球的材料對量測準確度造成限制。CaliBall™ 採用氮化矽製造而成,克服了準確度的兩難情況。25mm 的球為第 5 級 (四捨五入後超過 125nm),表面面型精度 ~1.3nm rms,不透明及 11% 反射率。Caliball™ 基本上無法破壞,是實用的解決方案,可於校正環境重複使用好幾年,不會劣化。

CaliBall™隨附三個球動態調整座,置於切除單側的堅固鋼鐵底座之中,以便校正 f/0.7 的穿透球面。帶有 4" 接環安裝座的 CaliBall™ 非常適合水平干涉儀設置,不需要額外的 x-y-z 安裝配置。每個CaliBall™ 出貨時隨附證書,顯示其真圓度與表面光度,並提供完整的使用說明,以及可於無塵室使用的儲存箱。

 
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